Titaanipuolijohdekomponentit
China Super Tech Co., Ltd.:n markkinoille tuoma puolijohde-titaaniseoksesta valmistettu kantoalusta on lähes -verkon muotoinen-ydinkomponentti, joka on suunniteltu erityisesti huippuluokan-litografialaitteisiin. Sen paino on noin 80 kiloa. Se on valmistettu titaaniseossubstraatista yksiosaisella-muovausprosessilla, ja se voi kantaa vakaasti kiekkomoduuleja erittäin{10}}puhtaassa ja tärisevässä{11}}puolijohteiden tuotantoympäristössä. Tämä vähentää merkittävästi materiaalihukkaa ja perinteisten käsittelymenetelmien aiheuttamia tarkkuuspoikkeamia.
- Tuotteen esittely
Tuotteen ominaisuudet
1. Pieni materiaalihävikki
Käyttämällä kaariplasmapinnoitusprosessia ja käyttämällä titaanilankaa kerros{0}}kerrossulatuksen ja -muovauksen
2. Suuri rakenteellinen jäykkyys
Muotoilun jälkeen sisärakenne on tiivis ja tasainen, ilman perinteisessä valussa yleisiä huokoisuusvirheitä. Se ei todennäköisesti muotoile muotoaan laitteen nopeissa{1}}liikeolosuhteissa, ja tarkkuuden vaihtelu on alle 0,02 mm pitkäaikaisessa-käytössä.
3. Alhainen jäännösjännitys
Muodon jälkeen komponenteille tarjotaan ainutlaatuinen lämpötilasäädelty -vanhenemiskäsittely. Komponenttien sisällä oleva jäännösjännitys on paljon pienempi kuin alan standarditaso. Odottamatonta muodonmuutosta ei tapahdu myöhemmän tarkkuuskäsittelyn aikana.
4. Korkea puhtaus ja yhteensopivuus
Titaaniseoksen pinta voidaan käsitellä passivoimalla, joka ei ole altis metallihiukkasten saostumiselle ja täyttää täysin puolijohdepajan korkeat puhtaustuotantovaatimukset.
Tuotesovellus
1. Kiekkopidike litografialaitteita varten
Litografiajärjestelmän kiekkoalustana se pitää kiekkomoduulin tukevasti paikallaan nopean liikkeen ja tarkan kohdistusprosessin aikana, mikä estää kiekkoa siirtymästä valotusprosessin aikana ja varmistaa jokaisen kiekon viivaetsaustarkkuuden.
2. Tyhjiöpinnoitteen alusta
Puolijohdetyhjiöpäällystyskoneen sisään sijoitettuna se asettaa pinnoitettavat sirut erissä. Titaanimateriaalilla on äärimmäisen alhainen kaasupäästönopeus tyhjiöympäristössä, mikä ei häiritse päällystyskammion sisällä olevaa korkeaa tyhjiötilaa, mikä varmistaa pinnoitekerroksen tasaisuuden ja tiheyden.
3. Sirutestaustelineen pohja
Sirujen lajittelu- ja testauslaitteiston peruskomponenttina oma painonsa tuoma korkea vakaus voi torjua laitteiden nopean{0}}lajittelun aiheuttamaa pientä tärinää, mikä tekee anturin ja sirun nastat kohdistamisesta tarkempaa ja pienentää testauksen virhetasoa.
Räätälöity palvelu
China Super Tech Co., Ltd. voi tarjota täydellisen-prosesseihin räätälöidyn palvelun kysynnän vastaavuudesta tuotteiden toimitukseen. Kypsään titaaniseospinnoitusteknologiaan tukeutuen se pystyy nopeasti valmistamaan lähes -verkko-muotoisia aihioita ilman toistuvaa muottituotantoa. Myöhemmin tarvitaan vain pieni määrä tarkkaa käsittelyä, jotta saavutetaan vaadittu mittatarkkuus asiakkaan spesifikaatioiden mukaisesti.
Voimme säätää komponenttien muotoa ja sisäistä vahvistusrakennetta asiakkaan laitteiston todellisen asennustilan ja{0}}kantokyvyn mukaan, ja voimme myös tarjota eri puhtausasteille sopivia pintakäsittelyratkaisuja asiakkaan tarpeiden mukaan. Seuraamme käsittelyn etenemistä koko prosessin ajan varmistaaksemme, että räätälöidyt komponentit mahtuvat suoraan asiakkaan puolijohdelaitteiden olemassa olevaan toimitusketjujärjestelmään ilman, että laiterajapintaan tarvitsee tehdä lisämuutoksia.
Erittely
|
Parametri |
Erittely |
|
Tuotteen nimi |
Titaanipuolijohdekomponentit |
|
Materiaali |
Puhdas titaani (luokka 1, luokka 2), titaaniseos (luokka 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Vakio |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (mukautettuna) |
|
Valmistusprosessi |
CNC-työstö, tarkkuussorvaus, jyrsintä, hionta |
|
Saatavilla olevat muodot |
Renkaat, kammiot, kohteet, laipat, levyt, kiinnikkeet, mukautetut osat |
|
Halkaisija |
5 mm – 1000 mm |
|
Pituus |
Jopa 3000 mm |
|
Paksuus |
0,5 mm – 200 mm |
|
Toleranssi |
±0,005 mm - ±0,02 mm (suunnittelusta riippuen) |
|
Pintakäsittely |
Koneistettu, kiillotettu, peilipinta, hiekkapuhallettu, peitattu |
|
Pinnan karheus |
Ra 0,2-1,6 μm |
|
Puhtaus |
Jopa 99,9 % (kaupallisesti puhdas titaani) |
|
Tiheys |
4,51 g/cm³ |
|
Käyttölämpötila |
Jopa 600 astetta |
|
Korroosionkestävyys |
Erinomainen hapojen, emästen ja erittäin{0}}puhtaiden kemikaalien kestävyys |
|
Sertifiointi |
ISO 9001, materiaalitestisertifikaatti (EN 10204 3.1 saatavilla) |
|
OEM / ODM |
Saatavilla |
FAQ
Miksi titaania käytetään laajalti puolijohdelaitteessa ruostumattoman teräksen tai alumiinin sijaan?
+
-
Titaani tarjoaa erinomaisen yhdistelmän korroosionkestävyyttä, alhaista kaasun muodostusta, korkeaa lujuus-/-painosuhdetta ja yhteensopivuutta ultra-korkean tyhjiön (UHV) ympäristöissä. Nämä ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen puolijohdevalmistuslaitteisiin, jotka ovat alttiina aggressiivisille kemikaaleille, plasmakäsittelylle ja erittäin{4}}puhtaille tuotantoolosuhteille. Ruostumattomaan teräkseen tai alumiiniin verrattuna titaani epätodennäköisemmin saastuttaa kiekkoja metalli-ioneilla tai -hiukkasilla, mikä auttaa parantamaan tuotannon saantoa ja prosessin vakautta. Sitä käytetään yleisesti tyhjiökammioissa, prosessilaitteissa, kaasunjakelukomponenteissa, kiekkojen käsittelyosissa ja plasmalaitteissa.
Miten minimoit hiukkaskontaminaation valmistuksen aikana?
+
-
Hiukkaskontaminaatio on yksi puolijohdevalmistajien suurimmista huolenaiheista, koska jopa mikroskooppiset hiukkaset voivat vähentää kiekkojen saantoa. Likaantumisen minimoimiseksi titaanipuolijohdekomponenteille tulee tehdä tarkkuus CNC-työstö, jota seuraa asianmukainen pintakäsittely, kuten kiillotus, passivointi tai sähkökiillotus tarvittaessa. Komponentit puhdistetaan tavallisesti puolijohde{2}luokan puhdistusmenetelmillä ja pakataan puhtaisiin ympäristöihin, jotta ne eivät pääse kuljetuksen aikana. Asiakkaat voivat myös pyytää erityistä pinnan karheutta (Ra), puhtausastetta ja räätälöityjä pakkauksia laitevaatimustensa mukaan.
Voitko valmistaa mukautettuja titaanipuolijohdekomponentteja piirustusten mukaan?
+
-
Kyllä. Useimmat puolijohdetitaanikomponentit valmistetaan mittatilaustyönä-, koska jokaisella laitevalmistajalla on erilaiset suunnitteluvaatimukset. Asiakkaat toimittavat yleensä: 2D-piirustukset tai 3D-CAD-tiedostot (STEP, IGES, PDF) Materiaalilaatuvaatimukset Pintakäsittelyvaatimukset Kriittiset toleranssit Puhtausvaatimukset Tarkastusvaatimukset Näiden spesifikaatioiden perusteella tarkkuus CNC-työstö, mittatarkastus, materiaalin jäljitettävyys ja räätälöity pakkaus voidaan toimittaa ennen toimitusta.
Mitä laadukkaita asiakirjoja voidaan toimittaa titaanipuolijohdekomponenteilla?
+
-
Puolijohdelaitteiden valmistajat vaativat usein täydellistä laatudokumentaatiota varmistaakseen tuotteiden johdonmukaisuuden ja jäljitettävyyden. Tyypillisiä asiakirjoja ovat: Materiaalitestitodistus (EN 10204 3.1) Kemiallisen koostumuksen raportti Mekaanisten ominaisuuksien raportti Mittatarkastusraportti CMM-tarkastusraportti Pinnan karheusraportti Ensimmäisen kappaleen tarkastus (FAI) Vaatimustenmukaisuustodistus (COC) Lisätarkastusraportteja voidaan toimittaa myös asiakkaan ohjeiden mukaan.
Kuinka titaanikomponentit voivat ylläpitää pitkän käyttöiän ankarissa puolijohdekäsittelyympäristöissä?
+
-
Puolijohdekäsittelyyn liittyy usein suuri tyhjiö, plasmaaltistus, syövyttäviä prosessikaasuja ja erittäin{0}}puhtaita kemikaaleja. Huono materiaalivalinta tai riittämätön pintakäsittely voi johtaa korroosioon, saastumiseen, liialliseen kaasuuntumiseen tai lyhentää laitteen käyttöikää. Laadukkaat-titaanikomponentit valmistetaan käyttämällä asianmukaisia titaanilaatuja, tarkkaa koneistusta, valvottua pintakäsittelyä ja tiukkaa laaduntarkastusta. Oikea materiaalivalinta yhdessä puhtaiden valmistusprosessien kanssa auttaa parantamaan korroosionkestävyyttä, vähentämään kaasun muodostumista, minimoimaan hiukkasten muodostumista ja pidentämään komponenttien käyttöikää vaativissa puolijohteiden käyttöolosuhteissa.
Suositut Tagit: titaanipuolijohdekomponentit, Kiina titaanipuolijohdekomponenttien valmistajat, toimittajat, tehdas
