Titaaniset osat puolijohteisiin

1. Ultra-vähän epäpuhtauksien vapautumisen valvonta

Käytämme keraamisten työkalujen ja -raudattomien työkalujen käsittelyjärjestelmää koko tuotantoprosessin ajan. Kaikille työkappaleen kanssa kosketuksiin joutuville apuaineille suoritetaan kolme happopesupuhdistuskierrosta valvoen tarkasti raudan, kromin jne. kokonaispitoisuutta 0,02 %:n sisällä. Tämä välttää täysin puolijohdeprosesseissa yleisen metalli-ionien kontaminaatio-ongelman ja estää liiallisten metallijäämien muodostumisen kiekon pinnalle. Se vähentää piirin oikosulun riskiä materiaalipuolelta.

 

2. Pitkäaikainen-korroosionkestävyys

Kun osa on muodostettu, se käy läpi kaksi eri pitoisuutta heikosti hapettavaan liuokseen upottamalla passivointia varten. Pinnalle muodostuu tasainen 8-10 nm paksu titaanidioksidisuojakalvo. Jopa silloin, kun se altistuisi laimennetulle fluorivetyhapon ja typpihapon sekaliuoksille puolijohteiden puhdistusprosessissa 2000 tunnin ajan yhtäjaksoisesti, ei esiinny kuoppien irtoamista eikä kiekon pintaa naarmuuntuvia roskia.

 

3. Suuri-tarkkuus mittavakaus

Prosessoinnin aikana koko prosessissa käytetään nestemäistä typpeä suihketta jatkuvaan lämpötilan säätelyyn, mikä hallitsee käsittelyn aikana syntyvää muodonmuutosta 0,003 mm:n sisällä. Ennen tehtaalta lähtöä valmiille tuotteille tehdään 24 tunnin korkean ja matalan lämpötilan kiertotestit. Jopa käytettäessä puolijohdeprosessiympäristössä 180 asteessa pitkään, ei tapahdu muodonmuutoshäiriöitä eikä muodonmuutostartuntoja. Ei tarvitse usein purkaa ja säätää kohdistustarkkuutta.

 

4. Alhainen poistonopeus, joka sopii tyhjiöympäristöön

Kaikki osat altistetaan ensin 120 asteen tyhjiöpaistoon 48 tunnin ajan kaasunpoistokäsittelyä varten. Pintaan adsorboituneet vesihöyry ja pienet hiukkaset poistetaan kokonaan. Puolijohdetyhjiökammioon asennettuna se voi auttaa laitteita saavuttamaan tavoitetyhjiöasteen 25 % nopeammin kuin käytettäessä tavallisia ruostumattomia osia, mikä vähentää tyhjiöpumppauksen odotusaikaa.

1. Kiekkoalusta PVD-höyrypinnoituskoneelle

Käytetään päällystettävän piikiekon tukemiseen. Kohdemateriaalin sputteroinnin korkean lämpötilan ympäristössä titaaniosa ei reagoi sputterointikaasun kanssa eikä vapauta ylimääräisiä epäpuhtauksia kammioon, mikä voi parantaa kiekon pinnalle kertyneen metallikalvokerroksen tasaisuutta 5 % välttäen riittämättömän metallikerroksen paksuuden aiheuttaman siruvuodon. Se soveltuu pinnoitteen tuotantovaatimuksiin 28 nm ja sitä pienemmille prosesseille.

 

2. Kiekkoteline märkäpuhdistuskoneelle

RCA-standardipuhdistusprosessissa teline upotetaan täysin vahvaan happo- ja alkalipuhdistusliuoksiin. Titaanimateriaali ei syöpy ja tuota roskia, eikä se tartu kiekon pintaan aiheuttaen hiukkasten kontaminaatiota. Se voi vähentää yhden erän kiekkojen puhdistuksen hiukkasvirheiden määrää 12%. Samalla telineen kevyt ominaisuus voi myös vähentää puhdistuskoneen siirtokuormaa ja alentaa laitteiden energiankulutusta.

 

3. Elektrodin kiinnitysistuin ioni-istutuskoneelle

Käytetään korkeajännitteisten{0}}elektrodien kiinnittämiseen koneeseen. Titaanin ei--magneettinen ominaisuus ei häiritse ionisäteen liikerataa, mikä mahdollistaa ioni-istutuksen syvyyspoikkeaman säätelyn hyvin pienellä alueella, mikä välttää epätasaisen injektioannoksen ongelman kiekon paikallisella alueella. Se parantaa merkittävästi sirun sähköisen suorituskyvyn johdonmukaisuutta.

 

4. Puolijohdetyhjiöputken liitinlaippa

Koneen alipaineputken eri osien yhdistäminen. Titaanin alhainen poistonopeus voi ylläpitää korkean-puhtaan tyhjiöympäristön putkilinjan sisällä, eikä se aiheuta tyhjiöasteen vaihteluita, jotka johtuvat tavallisten ruostumattomien teräslaippojen kaasun vapautumisesta pitkäaikaisen-käytön jälkeen. Se vähentää tyhjiöhäiriöiden laukaisemien koneen sammutushälytysten määrää ja lisää tuotantolinjan jatkuvaa toiminta-aikaa 30 %.

1. Ei--vakiomittojen mukauttaminen

Omaan 5-akseliseen koneistuskeskukseemme luottaen osien pituutta, leveyttä ja korkeutta voidaan säätää asiakkaan olemassa olevien puolijohdelaitteiden asennustilan mukaan. Asiakkaan ei tarvitse muuttaa laitteen käyttöliittymää, ja ensimmäinen näyte voidaan toimittaa 7 päivän sisällä.

 

2. Pintakunnon mukauttaminen

Kaksi pintakäsittelymenetelmää voidaan valita tarpeen mukaan: peilikiillotus ja mattahiekkapuhallus. Ne sopivat erilaisiin valmistusprosessin puhtausvaatimuksiin ja voivat välttää puolijohteiden tuotantoympäristöön vaikuttavan hiukkasten tarttumisen.

 

3. Erikoisrajapintojen räätälöinti

Erikoisrakenteet, kuten erityiset korttipaikat ja paikannusreiät, voidaan räätälöidä vastaamaan täysin asiakkaan itse-kehittämien laitteiden kokoonpanovaatimuksia. Muita sovittimen osia ei tarvitse lisätä.

Tuote	Erittely
Tuotteen nimi	Titaaniset osat puolijohteisiin
Materiaali	Puhdas titaani (luokka 2), titaaniseos (luokka 5 Ti-6Al-4V)
Valmistusprosessi	CNC-työstö, sorvaus, jyrsintä, hionta, hitsaus
Saatavilla olevat muodot	Levy, rengas, putki, sauva, lohko, mukautetut osat
Mitat	Räätälöity piirustusten tai näytteiden mukaan
Toleranssi	Jopa ±0,01 mm
Pintakäsittely	Kiillotettu, hiekkapuhallettu, peitattu, anodisoitu, tarkkuuskoneistettu
Pinnan karheus	Ra 0,2–1,6 μm (mukautettuna)
Puhtaus	Jopa 99,6 % (Grade 2 Titanium)
Käyttölämpötila	Jopa 400 astetta
Tiheys	4,51 g/cm³
Kovuus	Luokka 2: HB 145–200; Luokka 5: HRC 30–36
Korroosionkestävyys	Kestää erinomaisesti happoja, emäksiä ja prosessikemikaaleja
Kemiallinen yhteensopivuus	Soveltuu puolijohdekemikaaleille ja erittäin{0}}puhtaille ympäristöille
Tarkastus	Mittatarkastus, materiaalien sertifiointi, pintatarkastus

 

 

 

Suositut Tagit: titaaniosat puolijohteisiin, Kiina titaaniosat puolijohteiden valmistajille, toimittajille, tehtaalle